为满足纳米级电子束曝光系统的要求，系统设计了一个纳米图形发生器和数模转换电路，并采用机控制。机通过图形发生器和数模转换电路去驱动等仪器的扫描线圈，从而使电子束偏转并控制束闸的通断。通过可以对标准样片进行图像采集以及扫描场的校正。配合精密定位的工件台，还可以实现曝光场的拼接和套刻。利用配套软件也可以新建或导入多种通用格式的曝光图形。
曝照所需电子束是由既有的产生的电子束(离子束)提供。
电子射出后，受数千乃至数万伏特之加速电压驱动沿显微镜中轴向下移动，并受中轴周围磁透镜作用形成聚焦电子束而对样本表面进行扫描与图案刻画。扫描方式可分为循序扫描与矢量扫描。
扫描过程中，电子束的开启与阻断是由电子束阻断器所控制。电子束阻断器通常安装在磁透镜组上方，其功效为产生一大偏转磁场使电子束完全偏离中轴而无法到达样本。
(三) 阻剂(光阻)
阻剂是转移电子束曝照图案的媒介。阻剂通常是以薄膜形式均匀覆盖于基材表面。高能电子束的照射会改变阻剂材料的特性，再经过显影后，曝照(负阻剂)或未曝照(正阻剂)的区域将会留在基材表面，显出所设计的微影图案，而后续的制程将可进一步将此图案转移到阻剂以下的基材中。
缓速器的作用
电涡流缓速器是一种汽车制动辅助装置,俗称“电刹”,它是国际流行的第三制动系统。该产品既可以使汽车在坡道行驶时,方便地实行缓速和恒速行驶,也可以在高速公路或路况较差的情况下,及时轻松地进行缓速,因此可极大地提高汽车行驶时的安全性与舒适性。电涡流缓速器在国外已有五十年的使用历史,并且有关交通法规都强调汽车上要安装电涡流缓速器。
电涡流缓速器的工作原理就是利用一个闭环导体在磁场中运动产生涡流,而磁场将会阻止其运动.电涡流缓速器由执行机构和控制部分组成。
(1)执行机构包括定子和转子。定子由线圈和支架组成,定子绕组由4组8个线圈组成,定子安装在变速箱后端盖上。定子两端各有一个转子,一端转子与变速箱输出轴法兰连接,另一端转子与传动轴连接。
(2)控制部分包括手控开关、脚控开关、继电器盒、ABS联接器等。
①手控开关在较长距离减速及下长坡时使用,安装在驾驶员附近,便于驾驶员操作。开关分4个档,分别扳至1、2、3、4档,通过控制1、2、3、4个继电器吸和,依次增加进行工作的线圈数量,从而使制动力矩逐级增加。
②脚控开关安装在底盘上,用一根气管与制动总泵前轮制动气室连接。脚控开关是为控制缓速器自动工作的,受制动气压的逐渐升高,依次接通4个压力传感器,使制动力矩逐级拉大。行车制动起作用时,定子绕组线圈全部进入工作状态。
