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真空镀膜设备使用步骤
1电控柜的操作
1)开水泵、气源
2)开总电源
3)开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4)开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5)观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子电源。
PVD 镀膜工艺起源于国外，在行业发展初期，镀膜设备和镀膜材料的配套以国外厂商为主。国外 PVD 镀膜材料厂商的镀膜材料经过与下游客户的镀膜设备、镀膜工艺的长期磨合，各项性能指标与客户的匹配性已较好，具有较强的先发优势，因此，长期以来 PVD 镀膜材料研制和生产主要集中于美国、日本和德国少数公司，产业集中度较高。
高纯溅射靶材属于典型的技术密集型产业，研发生产设备性强。在一定程度上，半导体工业的区域集聚性造就了高纯溅射靶材生产企业的高度聚集。自诞生之日起，以美国、日本为代表的高纯溅射靶材生产企业便对技术执行严格的保密措施，导致溅射靶材行业在范围内呈现明显的区域集聚特征，生产企业主要集中在美国和日本。
PVD镀膜加工工艺流程比较长、工序繁多，发生故障的影响因素会很多。如PVD镀膜前处理不净、清洗不良、电解液成分失调及杂质污染、生产环境不良等。PVD镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。
PVD镀膜加工
PVD镀膜加工在影响产品质量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)中，人是位的。PVD镀膜故障的发生都与操作工技能和工作责任心有关。PVD镀膜生产管理人员对操作工指导和监督不力，这些在PVD镀膜企业较普遍存在的状况,PVD镀膜使得故障在所难免。要减少PVD镀膜生产故障，提高PVD镀膜从业人员的技能和工作责任心是十分重要的。
PVD镀膜加工生产故障是每个PVD镀膜企业都会遇到的问题，排除故障是PVD镀膜技术人员的重要职责。PVD镀膜实践出真知，PVD镀膜生产的实践性很强。要在调控PVD镀膜生产的全过程中做到遇障不惊，PVD镀膜途径就是在生产实践中摸爬滚打、坚韧实干、善于思考，不断探索和积累等。
