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齿轮是干式真空泵常见一种功率带动零件，它的耐用性与可靠性虽然与齿轮的材料，加工质量以及润滑情况关系很大，但其装配方法不当也会影响齿轮的传动的效率，装配不当会导致齿面加速磨损以及缩短其使用的寿命，因此在真空泵维修中的齿轮装配工序尤为重要。
Stokes Microvac 系列油封真空滑阀泵
在 佳性能和可靠性方面，Stokes Microvac 滑阀泵树立了 行业的滑阀泵标准，并能大限度减少维护与 时间。
Stokes Microvac 经过了 时间的考验，堪称、可靠的滑阀泵。如今经过进一步优化、升级和微调， 新的“J”系列将具有优性能、极低的维护需求和 运行成本。
低转速帮助实现 长的泵使用寿命
简单耐用的机制 带来高可靠性且易于装配
泵机享有 充分的质量保障和售后支持，免除
经过 80 年时间考验的 性能
多种增压机选项， 支持灵活的泵组合
新推出的“J”系列结合了 工程设计数十年的发展成果，噪音更低、密封更好且性能稳定 具有极低的维护需求和运行成本。
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15Min，严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件，可确保在高流量下，油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用，可以安装一个可选的油回收套件，以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。判定故障后, 维修方法是更换老化的密封部件, 添加和更换新油、清洗油路、更换老化的配油器、旋片和弹簧, 更换损坏的电源器件和电机线圈等。后给出真空泵的性能改造位置和方法。
ES 单级旋转式叶片泵
Edwards ES 系列泵代表了 单极油封旋转式叶片泵的重大进步。
增强的 性能：
同类的极限真空级别和更宽的工作压力范围
稳定性：
稳定的真空性能，无压力波动
便捷性：
组合式 ISO/BSP 连接，易于在现场维修
灵活性：
可单独使用，也可与机械增压泵一同使用，适用于各种应用