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空检漏的意义？
答：真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量，故在抽速一定时，漏气量就决定了真空度，欲使系统达到预定的极限真空，必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲，真空检漏可分为哪两大类？答：可以分为：1）压力检漏法，包括①充气检漏法，②卤素检漏法，③氨检漏法。2）真空检漏法，包括①高频火花检漏法，②真空计检漏法，③质谱仪检漏法。
简述真空泵的抽气原理？答：1）利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩，b.蒸汽流粘滞牵引压缩，c.刚性表面的牵引压缩。2）利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用，b.利用物理吸附和化学吸附作用。
真空计，又叫真空规。半导体设备中，不可避免的用到真空计，主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。
是什麽？能做什么？怎么用？1，是什麽？真空计，字面意思，计量真空度的仪器。2，能做什么？真空计主要用来测量真空，或者叫测量压强大小。腔室里面气体多，压力大，压强大，真空计显示的数值就大；反之，真空计显示的数值小。
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依照真空计测量基本原理所利用的差异的物理学体制，可将具体的真空计分成三大类，分别是利用物理性能，利用汽体动力学模型和利用自由电子作用的真空计。利用物理性能的真空计典型性的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用汽体结构力学效用的典型性真空计有皮拉尼(Pirani)电阻器规和电加热偶规；利用自由电子作用的典型性真空计有热阴极水解规和冷阴极电离规。
1、波尔登规（Bourdon）2、薄膜电容规3、皮拉尼规4、热电阻规5、热阴极水解规6、冷阴极水解规
真空计原理、工作中特点及应用热偶真空计是运用热电阻的电势差与加温部件的温度相关，元器件的温度又与气体的导热相关的基本原理来准确测量真空值的真空计。热偶真空计原理热电阻真空计的结构如下图1所显示，气体分子结构担负的导热量与气体压强正相关是热电阻真空计的原理。
热电阻真空计的结构图金属材料圆桶内部结构配有一根灯丝，两边联接电级，插电后灯丝会发烫。灯丝的卡路里会根据气体分子结构撞击灯丝、辐射热和固态导热等方法被抢走。设单位时间内以以上三种方法抢走的发热量各自为Qg、Qr、Qs，则平衡状态下下列公式计算创立：式中Q———单位时间灯丝释放的发热量；R———灯丝的电阻器；I———灯丝的电流量。
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inficon电容塑料薄膜真空计，电路为闭环控制构造，包含微电容测量电路和静电力控制电路，在其中静电力控制电路用于造成平衡力压塑料薄膜的静电力，系统对的测量特性拥有极为重要的危害，该方式在确保真空计高度测量的并且还能扩宽其动态性测量范围。
inficon电容塑料薄膜真空计用以真空泵测量，规定在较宽的工作压力测量范围可以测出较小的工作压力变化量，与此同时必须达到深空探测、临近空间检测及其流体力学试验等运动中测量仪器设备微型化的规定，因此测量电路应当在达到测量规定的条件下尽量完成一体化、微型化、功能损耗低。
因而，对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。
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