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原子荧光光谱仪
有较低的检出限，灵敏度高。特别对Cd、Zn等元素有相当低的检出限，Cd可达0．001ng·cm-3、Zn为0.04ng·cm-3。现已有2O多种元素低于原子吸收光谱法的检出限。由于原子荧光的辐射强度与激发光源成比例，采用新的高强度光源可进一步降低其检出限。干扰较少，谱线比较简单，采用一些装置，可以制成非色散原子荧光分析仪。这种仪器结构简单，价格便宜。分析校准曲线线性范围宽，可达3～5个数量级。由于原子荧光是向空间各个方向发射的，比较容易制作多道仪器，因而能实现多元素同时测定。
原子荧光光谱仪
原子荧光光谱法具有设备简单、各元素相互之间的光谱干扰少，检出限低，灵敏度高，(对Cd、Zn等元素有相当低的检出限，Cd可达0．001 ng·cm-3、Zn可达0.04 ng·cm-3)、工作曲线线性范围宽(可达3~5个数量级)和多元素可以同时测定等优点，是一种极有潜力的痕量分析方法。今后的任务是发展新的光源和寻找更理想的原子化器。实用新型原子荧光光度计，包括原子化器和光电倍增管以及位于原子化器和光电倍增管之间的短焦不等距光路系统，该光路系统由透镜室及其前盖和位于透镜室中的透镜及透镜后部的定位圈组成，原子化器位于透镜的前焦点上，透镜室的后部与光电倍增管外罩通过螺纹连接在一起，并将光电倍增管固定在透镜的后焦点以内的位置上，透镜室设有固定圈，透镜室通过固定圈固定安装在镜架板上。实用新型原子荧光光度计的优点在于：减小了原子化器与光电倍增管之间的距离，增大了原子荧光信号接收的立体角，接收到较强的原子荧光信号，减少了原子荧光光度计的荧光猝灭现象。
原子荧光光谱仪
待测元素的溶液与硼(钾)混合，在酸性条件下，、硒、锑、铋、锡、碲、铅、锗等可生成氢化物气体(如硒化氢等)，汞可生成气态原子态汞；镉、锌可生成气态组分，从溶液中逸出，通过与气、氢气混合后进入到原子化器中(并被点燃)，气体组分在高温下分解并转化为基态的原子蒸汽，通过该元素的空心阴极灯产生的共振线激发，基态原子跃迁到高能态，它再重新返回到低能态，多余的能量便以光的形式(也就是原子荧光)释放出来。根据原子荧光强度与被测物浓度成正比可测得试样中待测元素的含量。