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真空泵维修中，应注意下述几点:
①该泵制造精度较高，不是非常必要则不必拆开，以免j修不当，降低精度。当然维修工作者应当提高自己的技术水平，在该泵技术性能变差时，应及时修理，h能定期(一年)检修。
②检修时，将泵从真空系统拆下后，开始检查试抽，确认必须拆泵修理时，可按下列步骤进行:取去护翠，拆下三角皮带及大皮带、排气筒，松开各进气嘴处的压盖，把油放干净后，拆去箱盖和油密封室，取出主轴(不必拆断链条)，然后抬出左右机座
应用
一般清洁泵送
电子扫描显微镜 (SEM)
射束线和高能物理
前级涡轮泵
超高速离心机
主要特性和优势
真空外壳中 不需要使用润滑剂，完全密封可保证的清洁和干燥真空， 防止交叉污染
无大气压到 真空的轴封可使轴承完全隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能 以更低温度运行，使用时间更长
简单的单侧 滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需程度的 特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本， 尽可能延长正常运行时间
改进了电机和 传动效率，可降低功耗和运行成本
先进的接口 提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现 远程控制/监视
泵系列
下一代完全无油的干式涡旋泵，可在各种应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了传统 XDS 泵的性能，抽取速度更高的，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 泵可完全进行现场维修。
nXDS6i
nXDS10i
nXDS15i
nXDS20i
nXDS-C
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15Min，严禁用火焰直接加热轴承
适合清洁/干燥应用的 Edwards RV 泵的主要优点
的模式选择器开关意味着泵可在高流速下保持润滑
配备可选的油回收套件，可确保在高流量下，油保持在泵内
的防反吸保护可避免油雾回流到制程中
通过油压来控制打开状态，从而消除压力波动
在泵由于倾泄阀而停止运行的 0.4 秒内快速关闭
获得的模式选择器意味着该泵在高真空应用和高吞吐量应用中都适用。对于后一种应用，可以安装一个可选的油回收套件，以便让泵在高吞吐量下连续运转而不会将所有油排到排气管中。
氧化剂
真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律，通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动，是一种古老的维修方式，仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂，以及因发生故障所造成的经济损失日益增大，那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要，采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。
