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PVD制程中,镀膜之前为何需要预先去除原始氧化层?
答:预先去除原始氧化层,让金属层之间电阻不会过大以及增加膜与衬底的结合力.
PVD制程中,为何使用DC power ?
答:使用DC power,再加上通一定的ya气 (Ar gas),在真空室就会形成等离子体(电浆)。离子体中的离子撞击TARGET,将TARGET的原子打下落在wafer上而形成金属film。
为何机台必须使用冷却水?
答:控制温度,以防温度太高,造成机台破坏
PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于PVD技术的三个分类,相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。近十多年来,真空离子镀膜技术的发展是快的,它已经成为当今先进的表面处理方式之一。我们通常所说的PVD镀膜,指的就是真空离子镀膜;通常所说的PVD镀膜机,指的也就是真空离子镀膜机。五金电镀厂电镀废水处理方法有哪些?
不同类型、不同来源的电镀废水处理要针对性的一对一解决。
采用物理化学法处理电镀废水,选择技术可靠、投资省、操作管理方便的处理方式。
对于五金电镀废水可以选择过滤器,将原水中的杂质、重金属、沉淀物等其他有害杂质进行吸附。
1、采用药剂投加的方式,将五金废水原水中钙镁离子部分减少沉淀,配备药箱。
2、采用精滤、超滤的方式确保出水污染物指数降低。
3、采用反渗透装置将五金废水中的盐分进行浓缩处理。
4、采用蒸发系统工艺,将浓缩后的废水进行蒸发浓缩、蒸发结晶处理,以确保五金电镀废水的达标排放。
PVD电镀前先除油
油污包括三类:矿物油、动物油和植物油。按其化学性质又可归为两大类,即皂化油和非皂化油。动物油和植物油属皂化油,这些油能与碱作用生成肥皂,帮有皂化油之称。各种矿物油如石腊、凡士林,各种润滑油等。它们与碱不起皂化作用,帮统称非皂化油。
超声波脱脂是利用超声波振荡的机械力,能使脱脂溶液中产生数以万计的小气泡,这些小气泡在形成生长和闭合时产生强大振荡力,使材料表面沾附的油脂,污垢迅速脱离,从而加速脱脂过程,使脱脂更彻d,对于处理形状复杂,有微孔、盲孔、窄缝以及脱脂要求高的材料更为有效。往超声波里注入合适适量脱脂液(如除腊水),选择适当的温度。因为温度和浓度过高都会将阻碍超声波的传播,降低脱脂能力。为使材料的凹陷及面部能得到良好的脱脂效果,能使材料在槽内旋转,以便各部位都能受到超声波的辐射。